原標(biāo)題：意法半導(dǎo)體與A*STAR和ULVAC攜手合作，在新加坡成立世界首個(gè)“Lab-in-Fab”實(shí)驗(yàn)室，推進(jìn)壓電式MEMS技術(shù)應(yīng)用

意法半導(dǎo)體與A*STAR和ULVAC攜手合作，在新加坡成立世界首個(gè)“Lab-in-Fab”實(shí)驗(yàn)室

事件概述：

全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體供應(yīng)商和MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)的世界領(lǐng)導(dǎo)者意法半導(dǎo)體（STMicroelectronics），與新加坡A*STAR的微電子研究所（IME）以及日本領(lǐng)先的制造工具供應(yīng)商ULVAC（愛發(fā)科株式會(huì)社）攜手合作，在新加坡成立了世界首個(gè)“Lab-in-Fab”實(shí)驗(yàn)室。該實(shí)驗(yàn)室旨在推進(jìn)壓電式MEMS技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展。

合作背景與目的：

• 意法半導(dǎo)體：作為全球半導(dǎo)體行業(yè)的佼佼者，意法半導(dǎo)體在MEMS技術(shù)領(lǐng)域擁有深厚的積累，致力于為客戶提供創(chuàng)新的半導(dǎo)體解決方案。

• A*STAR的微電子研究所（IME）：作為新加坡科學(xué)技術(shù)研究局（A*STAR）下屬的研究所，IME在微電子領(lǐng)域具有卓越的研發(fā)能力和豐富的產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，特別是在壓電式MEMS器件設(shè)計(jì)、工藝集成和系統(tǒng)集成方面。

• ULVAC：作為日本領(lǐng)先的制造工具供應(yīng)商，ULVAC在真空技術(shù)和半導(dǎo)體制造設(shè)備方面擁有先進(jìn)的技術(shù)和解決方案。

此次合作旨在通過整合三方在壓電材料、壓電式MEMS技術(shù)和晶圓制造工具領(lǐng)域的領(lǐng)先技術(shù)和優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)的研發(fā)能力，促進(jìn)新材料和工藝技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展，最終加快企業(yè)客戶的產(chǎn)品開發(fā)。

“Lab-in-Fab”實(shí)驗(yàn)室詳情：

• 位置與設(shè)施：該實(shí)驗(yàn)室位于意法半導(dǎo)體新加坡晶圓廠內(nèi)，包括一個(gè)新建的潔凈室區(qū)。實(shí)驗(yàn)室將配備來自三個(gè)合作方的工具設(shè)備和專用資源，為MEMS研發(fā)制程科學(xué)家和工程師提供一流的工作場(chǎng)所。

• 研發(fā)方向：實(shí)驗(yàn)室以壓電式MEMS技術(shù)為重點(diǎn)研發(fā)方向，旨在加快從概念驗(yàn)證到量產(chǎn)的轉(zhuǎn)化過程，并推動(dòng)壓電式MEMS在AR/VR、醫(yī)療和3D打印等新產(chǎn)品中的應(yīng)用。

• 預(yù)期成果：預(yù)計(jì)實(shí)驗(yàn)室將在2021年第二季度建成啟用并產(chǎn)出首批晶圓，到2022年底實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。這將有助于增強(qiáng)意法半導(dǎo)體新加坡公司現(xiàn)有的制造工藝組合，并加快壓電式MEMS執(zhí)行器在新興領(lǐng)域的應(yīng)用。

合作意義與影響：

• 加速技術(shù)創(chuàng)新：通過“Lab-in-Fab”實(shí)驗(yàn)室，三方合作伙伴能夠更緊密地協(xié)同工作，加速壓電式MEMS技術(shù)的創(chuàng)新與發(fā)展。

• 提升產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力：實(shí)驗(yàn)室的成立將有助于提升新加坡乃至全球在MEMS技術(shù)領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力，吸引更多的創(chuàng)新資源和企業(yè)參與。

• 推動(dòng)新興應(yīng)用：壓電式MEMS技術(shù)在AR/VR、醫(yī)療和3D打印等新興領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。實(shí)驗(yàn)室的成立將有助于推動(dòng)這些領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

總結(jié)：

意法半導(dǎo)體與A*STAR的微電子研究所（IME）以及ULVAC的攜手合作，在新加坡成立世界首個(gè)“Lab-in-Fab”實(shí)驗(yàn)室，是半導(dǎo)體行業(yè)的一次重要?jiǎng)?chuàng)新舉措。該實(shí)驗(yàn)室的成立將有助于加速壓電式MEMS技術(shù)的創(chuàng)新與發(fā)展，提升產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力，并推動(dòng)新興領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)發(fā)展。